納米精度3D測(cè)試儀是光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉儀干涉顯微鏡，結(jié)合顯微鏡物鏡與干涉儀，不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等有點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400μm的三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。

納米精度3D測(cè)試儀應(yīng)用領(lǐng)域包括：
★晶圓（Wafer）
★光盤/硬盤（DVD Disk/Hard Disk）
★微機(jī)電組件（MEMS Components）
★平面液晶顯示器（LCD）
★高密度線路印刷電路版（HDI PCB）
★IC封裝（IC Package）
★其他材料表面分析與微組件表面研究
專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟件；
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理分析
提供自動(dòng)表面平整化處理功能
提供階高標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（roughness）和起伏度 （waviness）的量測(cè)分析.可提供多達(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析.具有平滑化,銳化與數(shù)字濾波等多種二維快速傅利葉轉(zhuǎn)換（FFI）處理功能
量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出.

關(guān)鍵詞：納米精度3D測(cè)試儀，表面粗糙度（roughness），起伏度 （waviness），白光干涉儀